靜電定義及術語:
1.ESD的含義及三種型式:
ESD的含義:
ESD是代表英文ElectroStatic Discharge即"靜電放電"的意思。ESD是本世紀中期以來形成的以研究靜電的產生與衰減、靜電放電模型、靜電放電效應如電流熱(火花)效應(如靜電引起的著火與)及和電磁效應(如電磁干擾)等的學科。近年來隨著科學技術的飛速發展、微電子技術的廣泛應用及電磁環境越來越復雜,對靜電放電的電磁場效應如電磁干擾(EMI)及電磁兼容性(EMC)問題越來越重視。
三種型式:
(1)人體型式即指當人體活動時身體和衣服之間的摩擦產生摩擦電荷。當人們手持ESD的裝置而不先拽放電荷到地,摩擦電荷將會移向ESD的裝置而造成損壞。
(2)微電子器件帶電型式既指這些ESD的裝置,尤其對朔料件,當在自動化生產過程中,會產生摩擦電荷,而這些摩擦電荷通過低電阻的線路非常迅速地瀉放到高度導電的牢固接地表面,因此造成損壞;或者通過感應使ESD的裝置的金屬部分帶電而造成損壞。
(3)場感類型式即有強電場圍繞,這可能來之于塑性材料或人的衣服,會發生電子轉化跨過氧化層。若電位差超過氧化層的介電常數,側會產生電弧以破壞氧化層,其結果為短路。
(4)其它還有:機器模式、場增強模型、人體金屬模型、電容耦合模型、懸浮器件模型。
2.靜電術語及定義:
① 靜電:物體表面過?;虿蛔愕撵o止的電荷。
② 靜電場:靜電在其周圍形成的電場。
③ 靜電放電:兩個具有不同靜電電位的物體,由于直接接觸或靜電場感應引起兩物體間的靜電電荷的轉移。靜電電場的能量達到一定程度后,擊穿其間介質而進行放電的現象是靜電放電。
④ 靜電度:元器件所能承受的靜電放電電壓。
⑤ 靜電器件:對靜電放電的器件。
⑥ 接地:電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體,如大地,船等。
⑦ 中和:利用異性電荷使靜電消失。
⑧防靜電工作區:配備各種防靜電設備和器材,能限制靜電電位,具有明確的區域界限和專門標記的適于從事靜電防護操作的工作場地。